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四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪//

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产品名称: 四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪//
产品型号: H7127
产品厂商: 恒奥德
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简单介绍
    

四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪// 型号:H7127 四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。

四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪// 的详细介绍

四探针电阻率测试仪/四探针电阻率仪/方阻测试仪/方阻仪/四探针电阻率测定仪//  型号:H7127

四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。
本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.1~0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的*大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。
2、主机技术能数
(1)测量范围:
可测电阻率:0.0001~19000Ω•cm
可测方块电阻:0.001~1900Ω•□
(2)恒流源:
输出电流:DC 0.001~100mA 五档连续可调
量程:0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
恒流精度:各档均低于±0.05%
(3)直流数字电压表:
测量范围:0~199.99mV
灵敏度:10μV
基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)
输出电源:≥1000ΩM
(4)供电电源:
AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
(5)使用环境:
温度:23±2℃ 相对湿度:≤65%
无较强的电场干扰,无强光直接照射
(6)重量、体积:
主机重量:7.5kg
体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)

备注:
等级测量时(测电阻率),精度<3%
电气测量时(测电阻),精度在0.3%以内

备注:
仪器包括:主机一台;测试架(包括台面)一个;四探针头1个
北京恒奥德仪器仪表有限公司
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