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二探针单晶硅及多晶硅测试仪 

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产品名称: 二探针单晶硅及多晶硅测试仪 
产品型号: HHY8-GL-1
产品厂商: 恒奥德
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简单介绍
    

二探针单晶硅及多晶硅测试仪 型号:HHY8-GL-1 本仪器主要用于测量大直径的单晶硅和多晶硅的电阻率分布情况,以便硅材料的切割和加工。 为适应大规模集成电路的迅猛发展,特别是计算机芯片、内存的发展,越来越多的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的单晶硅材料。目前,在美国、德国等先进的工业国家,均采用了二探针法,使用二探针检测仪来测量大直径单晶硅的电阻率分布情况。

二探针单晶硅及多晶硅测试仪  的详细介绍

二探针单晶硅及多晶硅测试仪 型号:HHY8-GL-1

本仪器主要用于测量大直径的单晶硅和多晶硅的电阻率分布情况,以便硅材料的切割和加工。

    为适应大规模集成电路的迅猛发展,特别是计算机芯片、内存的发展,越来越多的使用到了大直径、高纯度、均匀度更高的单晶硅材料。目前,在美国、德国等先进的工业国家,均采用了二探针法,使用二探针检测仪来测量大直径单晶硅的电阻率分布情况。

仪器符合美国ASTM “F391-77”关于二探针测量硅单晶试验方法》的标准,是一种新型的半导体电阻率测试仪,适合半导体材料厂和器件厂用于二探针法**测量单晶硅和多晶硅半导体棒状材料的体电阻率,从而进一步判断半导体材料的性能,指导和监视工艺操作,也可以用来测量金属材料的电阻,仪器具有测量精度高、稳定性好、结构紧凑、使用方便、造型美观等特点。也可以配四探针测试头作常规的四探针法测量硅晶体材料。

    仪器分为仪表电气控制箱、测试台、探头三部分,仪表电气控制箱由高灵敏度直流数字电压表、高抗干扰高隔离性能的电源变换装置、高稳定高精度恒流源和电气控制部分组成。测量结果由大型LED数字显示,零位稳定、输入阻抗高,并设有自校功能。在棒状材料使用二探针法测试时,具有系数修正功能,从面板输入相应的修正系数,可以直接读出电阻率,使用方便。测试台结构新颖,造型美观,可以方便地固定好大小任意尺寸的样品,并可以作逐点选择步进测量,也可以自由选择固定位置测量,电极活动自如,具备锁定装置,方便重复测量。另外还配置了二处记录板和转椅,测试探头能自动升降,探针为碳化钨材料,配置宝石轴承,具有测量精度高、游移率小、耐磨、使用寿命长特点。同时探头压力恒定并且可调整,以适合不同的材料。

仪器主要技术指标:

1.可测硅材料尺寸:

     直径Φ25~Φ150mm满足ASTM F-397的技术要求。

     长度:100~1100mm.

2.测量方式:轴向测量,每隔10mm测量一点。

3.测量电阻率范围:10-3~103Ω-cm,可扩展到105Ω-cm

4.数字电压表:

    1)量    程:0.2mV2mV20mV200mV2V

    2)测量误差:±0.3%读数±2

    3)输入阻抗:0.2mV2mV>106Ω

                  20mV档及以上>108Ω

    4)显    示:31/2LED数字显示,范围0~1999

5.恒流源:

    1)电流输出:直流电流0~100mA连续可调。

    2)量    程:10μA100μA1mA10mA100mA

    3)电流误差:±0.3%读数±2

6.二探针测试装置:

    1)探针间距:4.77mm

    2)探针机械游移率:0.3%

    3)探针压力:0~2kg可调

    4)测试探头自动升降

7.二探针测试台

    1)测试硅单长度:100-1100mm

    2)测试点间距:10mm

    3)测试台有慢、快二种移动速度,快速移动速度为1000mm/分(均匀

手动)

8.电源:交流220V±10%50HZ±2HZ,消耗功率<150W

网址;www.51658042.com

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