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便携式焦炉红外测温仪，毛细吸水时间测定仪，深视力检测仪，石油产品凝点测定仪，磷酸根分析仪，玻璃密度比较仪

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电子薄膜应力分布测试仪

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产品名称: 电子薄膜应力分布测试仪
产品型号: BGS-6341
产品厂商: 恒奥德
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简单介绍

电子薄膜应力分布测试仪型号：BGS-6341 该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、基片曲率

电子薄膜应力分布测试仪 的详细介绍

电子薄膜应力分布测试仪型号：BGS-6341

该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、基片曲率

半径测量测试。该仪器总测量点数多, 能给出场面型分布结果, 适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产艺研究。

仪器基于干涉计量的场测试原理, 可实时观测面型的分布, 迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置, 及时淘汰早期失效产品。

际的错位相移术

计算机自动条纹处理

测试过程自动

的曲面补偿测试原理

*样品尺寸	≤100mm (4英寸)
曲率范围	\|R\|≥5米
测试精度	5%
单片测量时间	3分钟/片
结果类型	面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示能	三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电源	AC 220V±10%, 50Hz±5%
*耗	100W
外型尺寸(L×W×H)	285mm×680mm×450mm
重量	36kg

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电子薄膜应力分布测试仪

电子薄膜应力分布测试仪 型号：BGS-6341 该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率

电子薄膜应力分布测试仪型号：BGS-6341 该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、基片曲率